الغازات المخصصة للصناعات للإلكترونيات، والمعروفة باسم الغازات الإلكترونية الخاصة، هي منتجات عالية التقنية وذات قيمة مضافة عالية تستخدم على نطاق واسع في صناعات أشباه الموصلات والإلكترونيات الدقيقة. تشمل هذه الغازات في المقام الأول الهيدريدات، الفلوريدات، الفلوروكربونات والمركبات المعدنية العضوية وغيرها. وهي مواد أساسية في إنتاج الدوائر المتكاملة واسعة النطاق، وأجهزة العرض المسطحة، وأجهزة أشباه الموصلات المركبة، والخلايا الشمسية، والألياف الضوئية. يتم تطبيق هذه الغازات على نطاق واسع في عمليات مثل تصنيع الأغشية الرقيقة، النقش، التطعيم (معالجة كيميائية للمواد)، ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، والانتشار في إنتاج الدوائر المتكاملة ولوحة العرض.

يتم تحديد جودة غازات الصناعة الإلكترونية بشكل أساسي من خلال نقاوتها ونظافتها. بشكل عام، تصل درجة النقاء الأساسية لهذه الغازات إلى 5N-6N (يشير N إلى عدد التسعات في نسبة النقاء، على سبيل المثال، 5.7N تعني 99.9997%، 6N تعني 99.9999%).

بالإضافة إلى ذلك، يلزم تنقية العناصر المعدنية إلى مستوى 10^-9 إلى 10^-12. كل زيادة في مستوى النقاء أو انخفاض في تركيز الجزيئات والشوائب المعدنية يزيد بشكل كبير من تعقيد وصعوبة عملية الإنتاج. إذا كانت نقاء أو نظافة الغازات الإلكترونية الخاصة لا تفي بالمعايير، فقد يؤدي ذلك إلى جودة دون المستوى المطلوب للمنتجات النهائية أو في الحالات الحرجة، تلوث واسع النطاق لخط الإنتاج بأكمله، مما يؤدي إلى التخلص الكامل من المنتجات.